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时间: 2024-04-10 04:32:43   作者: 火狐app

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  MEMS是将微传感器,微执行器,信号处理,电路等元件衔接在一起的体系,现在大多数都用在各类传感器。在对IC封装进行长期的研讨后,人们决定将IC封装理论的实践延伸到MEMS中。虽然许多MEMS封...

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